| 图像最高分辨率 | 8um |
| 定位系统 | 伺服电机定位系统 |
| 处理软件 | UltraVision Process Software |
| 软件系统 | Windows2000，WindowsXP，Windows2003 |
| 机械传动 | 采用日本技术的Servo Drive system及德国力士乐滚珠丝杆轨道系统 |
| 光学成像系统 | Canada Dalsa高分辨率扫描相机及图形图像采集处理卡 |
| 光源系统 | 移动式LED反射光源系统 |
| 检验材料 | 黑片/棕片 |
| 测试面积 | 24″x 26″ (610 x 660mm) |
| 台面尺寸 | 25″ x 31″(640 x 800mm) |
| 扫描加复检时间(面/小时)(18″x24″计) | 线宽/线距 60面/小时 |
| 测试能力 | 3mil以上 |
| CAM资料 | CERBER RS-274X格式 |
| 工作电力 | 单相220V±10V |
| 设备尺寸 | 1580mm(L) x 1600mm(W) x 1630mm(H) |
| 设备重量 | 1000KG |
四川新绿盛生物工程技术有限公司是2006年正式成立的民营生物科技企业，注册资金1590万元。 现有职工120名（其中管理人员12名，技术人员8名） 国家级高级技术顾问6名。
